Labor & Anlagen
, O 2 , Ar, CHF 3 , N 2 Status: Voll funktionsfähig Oxford PlasmaLab 80Plus © LS MNE / TU Dortmund Typ: Reaktives Ionenätzen (RIE) Beschreibung: Fluorprozesse: SF 6 , O 2 , Ar, CHF 3 , N 2 Status: Voll [...] gestützte Sonderanfertigung Beschreibung: O 2 , N 2 , Ar, Cl 2 , SiCl 4 , H 2 , N 2 O, CF 4 , CHF 3 , SF 6 , NH 3 , SiH 4 /Ar, SiH 2 Cl 2 Status: Voll funktionsfähig Purita GmbH Reinstwasseranlage © LS MNE / [...] Nano-Voltmeter Typ: Digital Nano-Voltmeter (< 1 µV - 100 V) Status: Voll funktionsfähig Rohde&Schwarz RTM3K-104 Typ: 4x 1 GHz (5 GSPS) Oszilloskop Status: Voll funktionsfähig © LS MNE / TU Dortmund Ätzanlagen …